所属：
1 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of
Engineering and Center for Optical Research and Education (CORE),
Utsunomiya University, Yoto 7-1-2, Utsunomiya, Tochigi 321-8585, Japan
2 Institute for Laser Technology, 2-6 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871,
Japan

概要：
物質にレーザーを照射すると，生成された高温のプラズマが輻射を発する．物質の構成元素を重元素に変えると，生成されるプラズマからのUnresolved transition array (UTA) 放射の波長が短波長に偏移する．波長の短い電磁波を用いると分解能が高くなり，それぞれの波長に適した応用技術が期待されている．レーザー生成重元素多価イオンプラズマは半導体リソグラフィー技術への応用や高分解能の顕微鏡に応用できる可能性がある．一方で，レーザー生成プラズマは自由膨張するため，光源サイズが大きくなり，マスク検査用顕微鏡に用いられる光源に適用しづらい面がある．また，光源として応用するためには，更なる高い出力や輝度を実現させる必要がある．これを実現させるため，レーザー生成重元素多価イオンプラズマを数値的にシミュレートし解析することにした．具体的には，原子コード計算と放射流体数値解析に着手し，実験と比較することにした．