Affiliation：Osaka University Research Center for Ultra-Precision Science and Technology

Abstract：近年形状自由度の高い光学素子が様々な分野にて応用されており、光学素子を高精度に作製するためにもナノ精度三次元測定法が必要とされている。そこで我々は光の直進性を利用した法線ベクトル検出型非接触ナノ形状測定法の開発を行っている。昨年度は測定中の環境変化を冷却水や整流装置で低減させた。その結果、曲率半径1000 mmの球面ミラーの測定を行い、測定の繰返し性を約5 nmから約0.5 nmまで向上させた。

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