Laser micro machining using a photonic nanojet

 

Authors:Tsutomu Uenohara

Affiliation:Department of mechanical engineering, Osaka University

Abstract:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は直径数ミクロンの誘電体マイクロ球にレーザ光を照射した際に発生する高強度のビームである.PNJのビーム径は数百ナノメートルと小さい.また,PNJはその小さいビーム径を保ったままほとんど発散することなく数ミクロンの距離を伝搬する.これらの特徴からPNJはナノメートルスケールの3次元微細加工技術に応用可能であると考えられる.PNJの強度分布制御は加工を制御していく上で重要な課題である.そこで,Finite difference time domain (FDTD) 法を用いた電磁場解析によって強度分布シミュレーションを行い,加工の制御性について明らかにする.

 

Publication related to your research:
(Journal paper)

  • Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Yasuhiro Mizutani, “Laser micro machining beyond the diffraction limit using a photonic nanojet”, CIRP Annals - Manufacturing Technology, 66, 1, pp491-494, 2017

 

(Domestic conference/workshop)

  • 上野原努, 高谷裕浩, 水谷康弘, “フォトニックナノジェットの強度分布制御と位置制御による微細加工に関する研究”, 2017年度砥粒加工学会学術講演会, C26, Sep. 2017
  • 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩, “フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第4報) -入射光波長制御によるフォトニックナノジェットの強度分布制御-”, 2017年度精密工学会秋季大会, P03, Sep. 2017
  • 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩, “フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第5報) -3次元 FDTD法によるフォトニックナノジェットの強度分布制御-”, 2018年度精密工学会春季大会, F68, Mar. 2018

 




Posted : March 01,2018