Authors：Kota Hashimoto
Affiliation：Graduate School of Engineering, Osaka University

Abstract：近年、形状自由度が高く高精度な光学素子の需要が様々な分野で拡大しており、それに伴いそれらの光学素子の形状を高精度に測定する技術が必要となっている。我々は、レーザーの直進性とゴニオメータの高精度回転を利用し非接触かつ参照面不要での自由曲面形状の測定を可能にする、法線ベクトル追跡型三次元形状測定装置の開発を行っている。我々は繰り返し性1 nm以下、不確かさ10 nm以下での測定精度を目標としている。その目的達成に向け、平面および球面ミラーを用いた装置の性能評価、自由曲面ミラーの形状測定、計算機を用いた系統誤差シミュレーションとフィッティングを行っている。

 

Publication related to your research
（International conference paper）

• Yui Toyoshi, Ryo Kizaki, Hiroki Shiraji, Takao Kitayama, Jungmin Kang, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo “Measurement of a spherical mirror with sub-50 pm repeatability by three-dimensional nanoprofiler using normal vector tracing”, OPTICS & PHOTONICS International Congress, (2018) 23-17, April, Yokohama, Japan
• Jungmin Kang, Takao Kitayama, Ryo Kizaki, Yui Toyoshi, Agustinus Winarno, Kiyoshi Takamasu, Kazuya Yamamura and Katsuyoshi Endo , “Absolute measurement of the optical path length of the three-dimensional nanoprofiler based on the normal vector tracing method by tandem white light interferometer”, ICPE,(2018) 12-16, November, Kamakura,Japan
• Jungmin Kang, Takao Kitayama, Ryo Kizaki, Yui Toyoshi, Agustinus Winarno, Kiyoshi Takamasu, Kazuya Yamamura and Katsuyoshi Endo , “Absolute measurement of the optical path length of the three-dimensional nanoprofiler based on the normal vector tracing method by tandem white light interferometer”, ICPE,(2018) 12-16, November, Kamakura,Japan

 

（Domestic conference/workshop）

• 橋本 航汰、木崎 嶺、豊吉 結衣、姜 正敏、宮脇 崇、遠藤 勝義、“凸面ミラーの非接触三次元ナノ形状計測”、精密工学会2019年度春季大会（2019）3月13日～15日、東京
  ・豊吉 結衣、木崎 嶺、橋本 航汰、姜 正敏、遠藤 勝義、“非接触三次元ナノ形状測定の系統誤差解析”、精密工学会2019年度春季大会（2019）3月13日～15日、東京

 

（その他）

• 橋本 航汰、木崎 嶺、豊吉 結衣、姜 正敏、宮脇 崇、遠藤 勝義、“凸面ミラーの非接触三次元ナノ形状計測”、精密工学会2019年度春季大会（2019）3月13日～15日、東京
  ・豊吉 結衣、木崎 嶺、橋本 航汰、姜 正敏、遠藤 勝義、“非接触三次元ナノ形状測定の系統誤差解析”、精密工学会2019年度春季大会（2019）3月13日～15日、東京