Affiliation：Osaka University

Abstract：我々は、非接触かつ自由曲面の測定が可能な形状測定法として、法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法の開発に取り組んでいる。本研究では、実際にΦ100 mm凹非球面ミラーの形状測定を行った。その結果、試料作製時の切削痕由来と思われる同心円状の形状誤差があることが分かった。