Laser micro machining using a photonic nanojet
Authors:Tsutomu Uenohara
Affiliation:Department of Mechanical Engineering, Osaka university
Abstract:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.加工対象であるシリコンにPNJを照射した際の強度分布をFinite-Difference Time-Domain法を用いた電磁場シミュレーションによって解析した.特に,水中では焦点深度が長くなることがわかり,それを加工に応用することができることを明らかにした.
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(Journal paper)
- Ryu Ezaki, Yasuhiro Mizutani, Naoki Ura, Tsutomu Uenohara, Yoshihiko Makiura, Yasuhiro Takaya: Fabrication of three-dimensional high-aspect-ratio structures by oblique-incidence Talbot lithography, Optics Express, Vol.28, No.24, 36924-36935 (2020).
(International conference paper)
- Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya: SUB-MICROMETER SCALE LASER MACHINING USING POSITION CONTROLLED PHOTONIC NANOJET, Leading Edge Manufacturing/Materials&Processing 2020, 8511 (2020)
- Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya: IN-LIQUID LASER NANOMACHINING BY PHOTONIC NANOJET IN LASER TRAPPING SYSTEM, Leading Edge Manufacturing/Materials&Processing 2020, 8500 (2020)
(Domestic conference/workshop)
- 浦直樹, 水谷康弘, 江崎隆, 上野原努, 牧浦良彦, 高谷裕浩: タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第6報) -ディープラーニングを用いた露光光波の振幅位相制御-, 2021年度精密工学会春季大会学術講演会, D0234 (2021).
- 江崎隆, 浦直樹, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩, 牧浦良彦: タルボット効果を用いた広範囲 3 次元リソグラフィ (第5報) -斜め入射光を利用した多重露光によるナノピラー構造の作製-, 2021 年度精密工学会春季大会学術講演会, D0114(2021).
- 並河峻佑, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩: 光後方散乱パターンの空間周波数解析に基づくガラス加工表面のマイクロクラック深さ計測の高精度化, 2020年度砥粒加工学会学術講演会, (2020).
- 上野原努,ラーマンレザアウリア,水谷康弘,高谷裕浩: フォトニックナノジェットを利用した液中レーザナノ加工に関する研究(第 3 報) ⻑焦点深度特性による加工特性, 2020年度精密工学会秋季大会, D0203, オンライン, 2020年9月.
Posted : March 01,2021