Affiliation：SCREEN Semiconductor Solutions Co.,Ltd. , Equipment Elemental Technology Development 4, Equipment Elemental Technology Development Department, Clean Technology Development Operations

Abstract：回転する直径300mmのウェハモデルの中心に2LPMで供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して下記条件で計算した。
Software OpenFOAM v2012　　ソルバー interFoam　　Mesh数 26.3M　　界面補足法 VOF　　Turbulence Model LES
結果、中心から広がる液膜の波形状について以前より、より細かい形状を再現した。また、液膜速度と液膜厚に関して、実験結果と良い一致を得た。

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（Etc）

• M.SATO, N.BELMILOUD, Y.OKUNO,” LARGE SCALE EDDY SIMULATION OF A LIQUID FILM FLOWING OVER A ROTATING DISK: WAVES PATTERNS AND DYNAMICS.”, 11-14 July 2022, Cambridge, United Kingdom, The 17th OpenFOAM Workshop