Laser micro machining using a photonic nanojet

 

Authors:Tsutomu Uenohara

Affiliation:Department of Mechanical Engineering, Osaka university

Abstract:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.加工対象であるシリコンにPNJを照射した際の強度分布をFinite-Difference Time-Domain法を用いた電磁場シミュレーションによって解析した.特に,水中では焦点深度が長くなることがわかり,それを加工に応用することができることを明らかにした.

 

Publication related to your research
(Journal paper)

  • Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, “First Step Toward Laser Micromachining Realization by Photonic Nanojet in Water Medium”, International Journal of Automation Technology, Vol.15, No. 4, pp. 492-502, 2021.

 

(International conference paper)

  • Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, “DETECTION OF SHOCK WAVE IN LASER ABLATION USING A PHOTONIC NANOJET”, XXIII IMEKO World Congress, Aug. 2021.
  • Tsutomu Uenohara, Reza Aulia Rahman, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, “LASER MICRO MACHINING USING A PHOTONIC NANOJET IN WATER MEDIUM”, Proceedings of the ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference, 60045, Jun. 2021.

 

(Domestic conference/workshop)

  • 高田泰成,上野原努,水谷康弘,高谷裕浩, “フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第9報) ―空間光変調器を用いたフォトニックナノジェットの強度分布制御―”, 2022年度精密工学会春季大会学術講演会, C07, Mar. 2022

 




Posted : March 01,2022