Author：Masanobu Sato
Affiliation：SCREEN Semiconductor Solutions Co.,Ltd. R&D Strategy Operations
Abstract：回転する直径300mmのウェハモデルの中心供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して計算した。今年度は、基板上に格子状の微小突起構造を形成して、これらの構造の液膜形成への影響を評価した。こうした構造を持つ回転基板の計算のために、SRF機能およびノズルスキャン機能を開発し結果を得た。