Study of Optimal Conditions for Achieving High Conversion Efficiency Using Multidimensional EUV Simulations

 

Author:Yu Yamamoto
Affiliation:The University of Osaka, High Energy Density Science Research Division
Abstract:液滴Sn ターゲットを高強度レーザーでどの様にプラズマ化し高効率なEUV光源をに発生するための条件をターゲットの形状・密度・温度およびレーザーの配位・波長・パルス形状・照射タイミングなどの条件を明らかにする。まずは2次元輻射流体 Lagrange コードSTAR2Dを用いて、共同研究者が1次元コードによって明らかにしたEUV変換効率のチャンピオンデータ群が多次元効果によって大きく変化しないかを確認する。その後に1次元では検討不可能なターゲット・レーザーの最適条件を解明する。

 




Posted : March 31,2026