Affiliation：SCREEN Semiconductor Solutions Co.,Ltd,

Abstract：回転する直径300mmのウェハモデルの中心供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して下記条件を組み合わせて計算し、実際の観察結果と液広がりを比較した。前年度までの成果に、高接触角条件での精度向上のため、動的接触角条件を検討し、種々の接触角モデルを、実現象観察結果と比較し検討を行った。

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（Domestic conference/wokrshop）

• 木原 瑞希、佐藤　雅伸, "転基板上の液膜流れにおける動 的接触角モデルの数値的および実験的評価", 日本流体力学会, 年会2024