Development of Nanoprofiler using normal vector tracing method

 

Authors:Ryo Kizaki

Affiliation:Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University

Abstract:非球面や自由曲面形状を持つ、形状自由度の高い光学素子を高精度に測定する技術が必要とされてきている中で、非接触かつ参照面等を必要としない測定手法の開発を行っている。我々は、試料表面の法線ベクトルを取得し形状を導出する非接触ナノ形状測定装置を開発し、現在までに、非球面や自由曲面等の測定をサブナノメートルの繰返し性で測定できることを確認しており、R=1000 mm凹球面ミラーの測定では、10回の繰返し性を数十pmで測定することができた。現在は装置の不確かさの見積もりを行うため研究を進めている。

 

Publication related to your research:
(International conference paper)

  • T. Kitayama, H. Shiraji, ○R. kizaki, K. Yamamura, K. Endo
    Measurement of a concave spherical mirror with sub-50 pm repeatability by 3D nanoprofiler using normal vector tracing
    SPIE Optifab (Oct 16-19 (Oct 18), Rochester, USA) (2017) 10448-59.

 

(Domestic conference/workshop)

  • 木崎嶺, 白地央樹, 豊吉結衣, 北山貴雄, 山村和也, 宮脇崇,遠藤勝義
    法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法によるパターン付き平面ミラーの形状測定
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(9.20@大阪大学-豊中キャンパス) (2017) 777-778.
  • 木崎嶺, 豊吉結衣, 白地央樹, 北山貴雄, 山村和也, 遠藤勝義
    法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法による凹球面測定
    精密工学会2017年度関西地方定期学術講演会講演論文集(6.29@摂南大学-寝屋川キャンパス) ( 2017) 96-97.

 




Posted : March 01,2018