Affiliation：Department of Mechanical Engineering, Osaka university

Abstract：フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである．PNJの高分解能な強度分布制御によって，高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする．PNJを用いたレーザ加工の自由度向上のために，マイクロ球へのレーザ照射条件を検討した．Finite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行い，集光ビームの伝搬特性を利用したPNJの姿勢制御方法を新たに提案し，加工実験によりその有用性を実証した．

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（International conference paper）

• Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Kosei Yamamoto, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, “LASER MICRO MACHINING USING AN OBLIQUE PHOTONIC NANOJET WITH FOCUSED LASER BEAM IRRADIATION”, MSEC2022, 82356, Jun. 2022