フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究

 

氏名:上野原 努

所属:大阪大学大学院 工学研究科 機械工学専攻

概要:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.球に入射するビームの分布を制御することでPNJの強度分布制御が可能であることをFinite-Difference Time-Domain法を用いた電磁場シミュレーションによって明らかにした.具体的には,ガウシアンビーム入射によって大きなビーム径のPNJ,ラジアル偏光ビームによって小さなビーム径のPNJが得られることが明らかとなった

 

論文掲載,発表実績:
(国際会議会議録掲載論文)

  • Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Yasuhiro Mizutani, “Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by incident wavelength”, euspen’s 18th International Conference & Exhibition, Italy, June 2018

 

(国内研究会等発表論文)

  • 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩, “フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第6報) -フォトニックナノジェットの発生原理に基づく強度分布制御手法-“, 2018年度精密工学会秋季大会, 3A(T)51, 函館アリーナ, 2018年9月
  • 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩: フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第7報) -フォトニックナノジェットの強度分布制御に基づいた加工制御-, 2019年度精密工学会春季大会, L20, 東京電機大学, 2019年3月

 

(その他)

  • 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩: フォトニックナノジェットの微細表面創製への応用, トライボロジスト, 63, 10 (2018) 684

 




Posted : 2019年03月29日