表面テクスチャ観察に用いる光放射圧制御微小球レンズの運動解析

 

氏名:
山口悠希

所属:
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

概要:
近年要求の高まる表面微細構造の評価手法として,本研究ではレーザトラッピング技 術を応用した新規の顕微鏡技術を開発する.本手法によって,従来では観察が困難な波長オーダの微細構造イメージングが可能になると考えられる.実現には捕捉球位置制御が不可欠であるため,電磁場解析に基づき試料面近傍に置ける捕捉球の運動解析を行う.
そこで,ベクトル回折理論により入射場を定義し,散乱場解析にはLorentz-Mie 理論と平面波展開法を用いた.得られた電磁場分布からMaxwell応力を算出し,捕捉球の運動方程式を離散的に解いた.解析結果より,試料面近傍において,捕捉球には反射光の影響が大きく働くことが分かった.また,反射光の影響を低減するには,輪帯ビームの利用が有用であることが示された.

 

論文掲載,発表実績:

  • 精密工学会関西支部 2015年度関西地方定期学術講演会 平成27年6月23日
    精密工学会 2016年春季大会学術講演会 平成28年3月16日

 




Posted : 2016年03月31日