フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究
氏名:上野原 努
所属:大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
概要:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.PNJを用いたレーザ加工のにおいて,加工条件を詳細に検討するためにFinite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行った.
論文掲載,発表実績:
(学術雑誌掲載論文)
- T. Uenohara, M. Yasuda, Y. Mizutani, and Y. Takaya, “Shock Wave Detection for In-Process Depth Measurement in Laser Ablation Using a Photonic Nanojet,” Int. J. Automation Technol., Vol. 18, No. 1, pp. 58-65, 2024.
- S. Itakura, T. Uenohara, Y. Mizutani, and Y. Takaya, “Phase Retrieval Algorithm for Surface Topography Measurement Using Multi-Wavelength Scattering Spectroscopy,” Int. J. Automation Technol., Vol. 18, No. 1, pp. 92-103, 2024.
(国際会議会議録掲載論文)
- Tsutomu UENOHARA, Makoto YASUDA, Yasuhiro MIZUTANI and Yasuhiro TAKAYA, In-process depth measurement in laser ablation using a photonic nanojet, Leading Edge Manufacturing/Materials&Processing LEM&P 2023, LEMP2023-008, June, 2023.
- Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, Deep Groove Measurement using Broadband Optical Frequency Comb Scattering Spectroscopy, ASPEN 2023, November, 2023.
Posted : 2024年03月31日