Laser micro machining using a photonic nanojet
Author:Tsutomu Uenohara
Affiliation:Department of Mechanical Engineering, The University of Osaka
Abstract:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.PNJを用いたレーザ加工において,マイクロ球に入射するビームの条件がPNJの生成に与える影響について明らかにするためにFinite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行った.その結果,入射光の波長と波面によって生成されるPNJの強度分布が大きく変化することを明らかにした.
Affiliation:Department of Mechanical Engineering, The University of Osaka
Abstract:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.PNJを用いたレーザ加工において,マイクロ球に入射するビームの条件がPNJの生成に与える影響について明らかにするためにFinite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行った.その結果,入射光の波長と波面によって生成されるPNJの強度分布が大きく変化することを明らかにした.
Publication related to this research
(Journal paper)
- Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, "Second Harmonic Generation-Enhanced Photonic Nanojet Machining in Water Medium with Position Control for Submicrometer Ablation", Nanomanufacturing and Metrology, 8, 32, Dec. 2025.
(International conference paper)
- Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, "Position controlled photonic nanojet for machining in water medium by second harmonic generation", ISMTII / ICOIM 2025, May-25.
(Domestic conference/workshop)
- 山﨑拓海,上野原努,水谷康弘,高谷裕浩, "光カー効果に基づいたフォトニックナノジェットのビーム径制御", 日本機械学会2025年度年次大会, J131p-06, Sep. 2025.
Posted : March 31,2026


