フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究

 

氏名:上野原 努
所属:大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
概要:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.PNJを用いたレーザ加工において,マイクロ球に入射するビームの条件がPNJの生成に与える影響について明らかにするためにFinite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行った.その結果,入射光の波長と波面によって生成されるPNJの強度分布が大きく変化することを明らかにした.

 

論文掲載,発表実績:
(学術雑誌掲載論文)

  • Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, "Second Harmonic Generation-Enhanced Photonic Nanojet Machining in Water Medium with Position Control for Submicrometer Ablation", Nanomanufacturing and Metrology, 8, 32, Dec. 2025.

 

(国際会議会議録掲載論文)

  • Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, "Position controlled photonic nanojet for machining in water medium by second harmonic generation", ISMTII / ICOIM 2025, May-25.

 

(国内研究会等発表論文)

  • 山﨑拓海,上野原努,水谷康弘,高谷裕浩, "光カー効果に基づいたフォトニックナノジェットのビーム径制御", 日本機械学会2025年度年次大会, J131p-06, Sep. 2025.

 




Posted : 2026年03月31日