所属：（株）SCREEセミコンダクターソリューションズ、洗浄開発統轄部 装置要素技術開発一部 装置要素技術開発四課

概要：回転する直径300mmのウェハモデルの中心供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して下記条件を組み合わせて計算した。
Software OpenFOAM v2012
ソルバー interFoam
Mesh数 26.3M
界面補足法 VOF
Turbulence Model LES
流量条件： 0.45LPM, 0.9LPM, 2LPM
回転数：800rpm, 1000rpm
粘度 : 1cP, 2.6cP
結果: 流量は、液膜厚よりも液速度に与える影響が大きいことや、粘度が高いと液広がり速度が低下する事などの結果を得た。

論文掲載,発表実績:
（その他）

• M.SATO, N.BELMILOUD, Y.OKUNO,” LARGE SCALE EDDY SIMULATION OF A LIQUID FILM FLOWING OVER A ROTATING DISK: WAVES PATTERNS AND DYNAMICS.”, July. 13, 2022, Cambridge, United Kingdom, The 17th OpenFOAM Workshop
• 佐藤雅伸、”回転基板上の液膜のLESを使用した流体シミュレーション”, 応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会第7回ポスター展招待講演,Tokyo, Japan, Sep. 29, 2022