フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究

 

氏名:上野原 努

所属:大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

概要:フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである.PNJの高分解能な強度分布制御によって,高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする.PNJを用いたレーザ加工の自由度向上のために,マイクロ球へのレーザ照射条件を検討した.Finite-Difference Time-Domain法による電磁場解析を行い,集光ビームの伝搬特性を利用したPNJの姿勢制御方法を新たに提案し,加工実験によりその有用性を実証した.

 

論文掲載,発表実績:
(国際会議会議録掲載論文)

  • Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Kosei Yamamoto, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, “LASER MICRO MACHINING USING AN OBLIQUE PHOTONIC NANOJET WITH FOCUSED LASER BEAM IRRADIATION”, MSEC2022, 82356, Jun. 2022

 




Posted : 2023年03月31日