所属：大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻

概要：フォトニックナノジェット(Photonic nanojet: PNJ)は誘電体マイクロ球にレーザを照射することで発生するビームである．PNJの高分解能な強度分布制御によって，高分解能に加工幅や加工深さを制御可能なレーザ微細加工技術の確立を目的とする．加工対象であるシリコンにPNJを照射した際の強度分布をFinite-Difference Time-Domain法を用いた電磁場シミュレーションによって解析した．これによって，PNJを用いることでサブマイクロメートルスケールの加工が可能であることを解析的に明らかにした．

論文掲載,発表実績:
（学術雑誌掲載論文）

• Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani and Yasuhiro Takaya, “Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by intensity distribution of incident laser”, The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Paper ID 88, Japan, September 2019.
• Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani and Yasuhiro Takaya, “In-Liquid Laser Nanomachining by Photonic Nanojet in Optical Tweezers Configuration”, 12th International Symposium on Measurement and Quality Control, pp. 318-328, Republic of Serbia, June 2019.

（国内研究会等発表論文）

• 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩, “フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第8報) -マイクロ球に照射する集光ビームパラメータによる加工制御-“, 2019年度精密工学会秋季大会, L08, 静岡大学, 2019年9月.