高性能弾性表面波基板構造の探索

 

氏名:垣尾 省司

所属:山梨大学 大学院総合研究部工学域

概要:
目的 次世代移動通信システムの実現のために,スマートフォン等の端末に用いられる弾性表面波(SAW)フィルタの高性能化が急務である.本研究では,異種あるいは同種の圧電性材料を組み合わせた層状構造上のSAW伝搬特性を数値解析し,高性能なSAW基板構造を探索する.
内容 水晶支持基板とカット角の異なる水晶薄板からなる層状構造上の漏洩SAWについて,弾性波動方程式とラプラス方程式における粒子変位と電位の一般解が境界条件を満足する位相速度と漏洩損失を求めた.
結果 カット角の異なる水晶同士を組み合わせたとき,単体の水晶よりも漏洩損失が低減する条件を見出した.これはフィルタの高Q値化に有効である.

 

論文掲載,発表実績:
(学術雑誌掲載論文)

  • T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio, “Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate,” Jpn. J. Appl. Phys., vol. 60, no. SD, pp. SDDC04-1-6, 2021.

 

(国際会議会議録掲載論文)

  • T. Fujimaki, M. Suzuki, and S. Kakio, “Analysis of leaky surface acoustic waves on quartz thin plates bonded to similar-material substrate,” Proceedings of The 41st Symposium on Ultrasonics Electronics, 1Pa3-2, Nov. 2020.

 

(国内研究会等発表論文)

  • 藤巻貴海,鈴木雅視,垣尾省司,“水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析,”2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会,A-4-3,Sep. 2020.
  • 藤巻貴海,鈴木雅視,垣尾省司,“同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性,” 電子情報通信学会・日本音響学会2020年度超音波研究会(US),US2020-33,Sep. 2020.
  • 藤巻貴海,鈴木雅視,垣尾省司,“同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性,”第49回EMシンポジウム,EM49-1-11,Oct. 2020.
  • 藤巻貴海,鈴木雅視,垣尾省司,“同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性,”弾性波素子技術コンソーシアム第1回研究会,Nov. 2020.
  • 藤巻貴海,鈴木雅視,垣尾省司,“LiNbO3や水晶を用いた同種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性,”圧電材料・デバイスシンポジウム2021,F-2,Jan. 2021.

 




Posted : 2021年03月01日