回転基板上の液膜のLESを使用した流体シミュレーション
氏名:折坂 昌幸,木原瑞希,佐藤雅伸
所属:(株)SCREEセミコンダクターソリューションズ、洗浄開発統轄部
概要:回転する直径300mmのウェハモデルの中心供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して下記条件を組み合わせて計算し、実際の観察結果と液広がりを比較した。
計算例:
Software OpenFOAM v2022
ソルバー interFoam
Mesh数 37M
界面補足法 VOF
Turbulence Model Sigma/LES
流量条件: 2LPM
回転数:300rpm, 1000rpm
結果: 液膜広がりは、実現象と低速回転、高速回転でも良い一致を得て、計算の妥当性を確認した
論文掲載,発表実績:
(学術雑誌掲載論文)
- Belmiloud, Naser, Masanobu Sato, and Yasutoshi Okuno. “Fluid Simulation over a Rotating Disk: Momentum and Mass Transfer across the Wafer Boundary.” Solid State Phenomena. Trans Tech Publications, Ltd., August 14, 2023. https://doi.org/10.4028/p-7hsyuj.
Posted : 2024年03月31日