Affiliation：Osaka university, Department of mechanical engineering, Takaya-Mizutani Lab

Abstract：フォトニックナノジェットは直径数マイクロメートルの誘電体マイクロ球にレーザ光を照射した際に球後方に現れるビームである．そのビーム径は数百ナノメートル，ビーム長さは数マイクロメートルであり3次元微細加工に適した強度分布であると考えられる．サブミクロンスケールの加工分解能を達成するためには，フォトニックナノジェットの強度分布制御が不可欠である．そこで，レーザ波長，マイクロ球直径や屈折率などを変化させ，FDTD法(Finite-difference time-domain method)によって強度分布解析を行うことでフォトニックナノジェットの強度分布最適化を行っている．波長800nmのレーザ光を用いて，200nm程度の径の加工が可能であることを実証している．

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（Domestic conference/workshop）

• 高谷裕浩，上野原努，水谷康弘，”フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する基礎研究”，砥粒加工学会誌，Vol. 61, No. 4, pp179-182, April 2017