Affiliation：SCREEN Semiconductor Solutions Co.,Ltd. , Equipment Elemental Technology Development 4, Equipment Elemental Technology Development Department 1, Clean Technology Development Operations

Abstract：回転する直径300mmのウェハモデルの中心供給された水が、基板上で広がる状態を 、OpenFOAMを使用して下記条件を組み合わせて計算した。
Software OpenFOAM v2012
ソルバー interFoam
Mesh数 26.3M
界面補足法 VOF
Turbulence Model LES
流量条件： 0.45LPM, 0.9LPM, 2LPM
回転数：800rpm, 1000rpm
粘度 : 1cP, 2.6cP
結果: 流量は、液膜厚よりも液速度に与える影響が大きいことや、粘度が高いと液広がり速度が低下する事などの結果を得た。

Publication related to your research:
（Etc）

• M.SATO, N.BELMILOUD, Y.OKUNO,” LARGE SCALE EDDY SIMULATION OF A LIQUID FILM FLOWING OVER A ROTATING DISK: WAVES PATTERNS AND DYNAMICS.”, July. 13, 2022, Cambridge, United Kingdom, The 17th OpenFOAM Workshop
• 佐藤雅伸、”回転基板上の液膜のLESを使用した流体シミュレーション”, 応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会第7回ポスター展招待講演,Tokyo, Japan, Sep. 29, 2022