所属：Osaka University

概要： 我々は、非接触かつ自由曲面の測定が可能な形状測定法として、法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法の開発に取り組んでいる。本研究では、以前行ったΦ100 mm凹非球面ミラーの形状測定において、計算アルゴリズム由来の誤差が見られたので、その改良に取り組んだ。

論文掲載,発表実績:
（その他）

• 生口幹也,"非球面ミラーの非接触ナノ形状測定及び走査型白色干渉顕微鏡との比較",精密工学会春季大会,2021年3月
• 生口幹也,"Measurement of aspheric mirror by non-contact three dimensional nano-profiler using normal vector tracing method",euspen 21st International Conference & Ehibition,2021年6月